IDS3010激光干涉位移传感探测头
Ø 14 mm, 长度43.9 mm
超长工作距；常用于标定加工轴或者工具
Ø 22 mm, 长度22.7 mm
装调简易
Ø 14 mm, 长度19.5 mm
装调角度容差大
D4/F17
Ø 4 mm, 长度11.5 mm
安装探头较小
Ø 12 mm, 长度32.3 mm
装调角度容差大
可兼容多种环境需求
/RT 普通环境：0~100℃；1×10-4mbar~10bar
/HV 高真空：0~150℃；1×10-8mbar~10bar
/UHV 超高真空：0~150℃；1×10-10mbar~10bar
/LT 低温：mK~423K；1×10-4mbar~10bar
/RAD 强辐射：0~150℃；达10MGy辐射强度
| 探测器头部 | |||||
| 产品型号 | D12/F2.8 | D4/F17 | M12/F40 | M15.5/F40/FLEX | M12/C7.6 |
| 工作模式 | |||||
| 光路类型 | 聚焦 | 聚焦 | 聚焦 | 聚焦 | 平行光 |
| 尺寸 | Ø 12 mm,长度32.3 mm | Ø 4 mm, 长度11.5 mm | Ø 14 mm, 长度17.4 mm | Ø 22 mm, 长度20.6 mm | Ø 14 mm, 长度49.2 mm |
| 安装 | 夹持 | 夹持 | 公制M12 x 0.5 | 公制M15.5 x 0.5 | 公制M12 x 0.5 |
| 焦距 | 2.8 mm | 17 mm | 40 mm | 40 mm | 无穷远 |
| 接头 | FC/PC | fiber glued | FC/PC | FC/PC | FC/PC |
| 工作环境 | /RT,/LT/HV,/UHV,/RAD | /RT,/LT/HV,/UHV,/RAD | /RT,/LT/HV,/UHV,/RAD | /RT,/LT/HV,/UHV,/RAD | /RT,/LT/HV,/UHV,/RAD |
| 优点 | 短距离宽角度 | 较低面型要求 | 应用面较广 | 装调简便 | 长工作距，以及较长工作范围 |
| 案例 | 振动及各种几何面型测量 | 在加工过程中工件的变形监测 | 聚焦测试，不对称测试 | 机场加工元件的控制及诊断 | 大面积加工机床及三坐标测量机标定及同步校正 |
| 测量规格 | |||||
| 工作范围（测量目标：玻璃） | 2.8 mm ± 4 μm | 14.5..19.5 mm | 38.5..41.5 mm | 38.5..41.5 mm | - |
| 装调可容偏差（测量目标：玻璃） | ± 4 ° | ± 0.15° | ± 0.35° | ±0.35° | - |
| 工作范围（测量目标：反射镜） | 2.8 mm ± 20 μm | 50..65 mm | 46..50 mm | 46..50 mm | - |
| 装调可容偏差（测量目标：反射镜） | ± 10° | ± 0.2° | ± 0.35° | ± 0.35° | - |
| 工作范围（测量目标：角锥镜） | - | - | - | - | up to 5000 mm |
| 装调可容偏差（测量目标：角锥镜） | - | - | - | - | ± 15° |
| 侧向装调可容偏差（测量目标：角锥镜） | - | - | - | - | ± 2 mm |
