旋转平台 RT250S
Rotary Stage RT250S
主要参数
Rotary Stage RT250S | |
Max. axial load 最大轴负载 | 804 N |
Max. radial load 最大侧向负载 | 452 N |
Axial stiffness 轴刚性 | 402 N/μm |
Radial stiffness 侧向刚性 | 226 N/μm |
Tilt stiffness 摇摆刚性 | 2380 Nm/mrad |
Radial error motion 端跳误差 | < 100 nm LSC |
Axial error motion 轴误差 | < 50 nm LSC |
Resolution分辨率 | <0.1arcsec,取决于细分比(4× ~ 20000×) |
Repeatability重复精度 | <0.5 arcsec 或者2倍分辨率 |
Air consumption 耗气量 | < 15 Nl/min |
Total mass 重量 | 16,5 kg |
Encoder 编码器 | 40000 periods |
Nominal torque 标称扭矩 | 1,5 Nm |
Peak torque 峰值扭矩 | 4,5 Nm |
Max. speed 最大速度 | 120 rpm |
Angular accuracy 角精度 | 4,0 arcsec |
Material 材料 | coated aluminium |