旋转平台 RT075S
Rotary Stage RT075S
主要参数
| Rotary Stage RT075S | |
| Max. axial load 最大轴负载 | 137 N |
| Max. radial load 最大侧向负载 | 51 N |
| Axial stiffness 轴刚性 | 68 N/µm |
| Radial stiffness 侧向刚性 | 25 N/µm |
| Tilt stiffness 摇摆刚性 | 33 Nm/mrad |
| Radial error motion 端跳误差 | < 100 nm LSC |
| Axial error motion 轴误差 | < 50 nm LSC |
| Resolution分辨率 | <0.1arcsec，取决于细分比（4× ~ 20000×） |
| Repeatability重复精度 | <0.5 arcsec 或者2倍分辨率 |
| Air consumption 耗气量 | < 4 Nl/min |
| Total mass 重量 | 0,6 kg |
| Encoder 编码器 | 11840 periods |
| Nominal torque 标称扭矩 | 0,04 Nm |
| Peak torque 峰值扭矩 | 0,13 Nm |
| Max. speed 最大速度 | 300 rpm |
| Angular accuracy 角精度 | 13,8 arcsec |
| Material 材料 | coated aluminium |
尺寸图
