陶瓷电机平移台PPX-50PM
Piezo Motor
陶瓷电机平移台PPX-50PM
Piezo Motor
- 28mmx28mm行程
- 最大中孔19x19mm,最小中孔9.5×9.5mm
- 1nm闭环分辨率
- 负载达3kg
- 不锈十字滚子轴承
- 体积紧凑，高度仅17.5mm
- 提供真空，无磁版本
主要参数
| PPX-50PM | |
| 行程(mm) | 28x28 |
| 直线度/平面度(μm) | ±3.5 |
| 摇摆误差Pitch(μrad) | ±200 |
| 摇摆误差Yaw(μrad) | ±100 |
| 自重（g） | 120 |
| 电机类型 | 陶瓷电机 |
| 速度(mm/s) | 2(MMC-100), 5(MMC-110) |
| PPX-50PM | |||
| 编码器类型 | (Open Loop) | Analog (1 Vpp) | Digital(RS-422) |
| 分辨率典型值(nm) | 1 | 10 | 1 |
| 重复精度（双向）(nm) | - | ±50 | ±20 |
| 重复精度（单向）(nm) | - | 50 | 20 |
| 精度(μm) | - | ±1 | ±1 |
| 材料 | aluminum body,steel bearing(other materials I.e. stainless steel, titanium, etc. available upon request) | ||
尺寸图
