陶瓷电机平移台PPS-60PM
Piezo Motor
陶瓷电机平移台PPS-60PM
Piezo Motor
- 300mm行程（可定制更长行程）
- 2nm闭环分辨率
- 负载达15kg
- 集成机械限位开关
- 提供真空，无磁版本
主要参数
| PPS-60PM | |||||
| 行程(mm) | 25 | 50 | 100 | 200 | 300 |
| 直线度/平面度(μm) | ±2.5 | ±4 | ±6 | ±8 | ±10 |
| 摇摆误差Pitch(μrad) | ±50 | ±75 | ±100 | ±125 | ±150 |
| 摇摆误差Yaw(μrad) | ±50 | ±75 | ±100 | ±125 | ±150 |
| 电机类型 | 陶瓷电机 | ||||
| 速度(mm/s) | 5(MMC-110) | ||||
| PPS-60PM | ||||
| 编码器类型 | (Open Loop) | Analog (1 Vpp) | Digital(RS-422) | Digital Low Cost |
| 分辨率典型值(μm) | 0.001 | 0.01 | 0.0002 | 0.5 |
| 重复精度（双向）(μm) | - | ±0.05 | ±0.02 | ±1 |
| 重复精度（单向）(μm) | - | 0.05 | 0.02 | 1 |
| 精度(μm) | - | ±1 | ±1 | ±3 |
| 材料 | aluminum body,steel bearing(other materials I.e. stainless steel, titanium, etc. available upon request) | |||
尺寸图
