陶瓷电机平移台PPS-20PM
Piezo Motor
陶瓷电机平移台PPS-20PM
Piezo Motor
- 51mm行程
- 2nm闭环分辨率
- 负载达2kg
- 交叉滚子轴承
- 体积紧凑，高度仅13mm
- 提供真空，低温，无磁等版本
主要参数
| PPS-20PM | ||||
| 行程(mm) | 12 | 18 | 26 | 51 |
| 直线度/平面度(μm) | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ±2.5 |
| 摇摆误差Pitch(μrad) | ±60 | ±80 | ±80 | ±100 |
| 摇摆误差Yaw(μrad) | ±70 | ±90 | ±90 | ±100 |
| 自重（g） | 17 | 24 | 34 | 68 |
| 电机类型 | 陶瓷电机 | |||
| 速度(mm/s) | 2(MMC-100), 10(MMC-110) | |||
| PPS-20PM | |||
| 编码器类型 | (Open Loop) | Analog (1 Vpp) | Digital(RS-422) |
| 分辨率典型值(nm) | 1 | 10 | 2 |
| 重复精度（双向）(nm) | - | ±50 | ±20 |
| 重复精度（单向）(nm) | - | 50 | 20 |
| 精度(μm) | - | ±1 | ±1 |
| 材料 | aluminum body,steel bearing(other materials I.e. stainless steel, titanium, etc. available upon request) | ||
尺寸图
