陶瓷电机平移台PPS-110PM
Piezo Motor
陶瓷电机平移台PPS-110PM
Piezo Motor
- 1000mm行程（可定制更长行程）
- 2nm闭环分辨率
- 负载达25kg
- 体积紧凑，高度仅40mm
- 提供真空，无磁版本
主要参数
| PPS-110PM | |||||
| 行程(mm) | 100 | 200 | 300 | 500 | 1000 |
| 直线度/平面度(μm) | ±3 | ±4 | ±5 | ±10 | ±15 |
| 摇摆误差Pitch(μrad) | ±75 | ±100 | ±125 | ±200 | ±300 |
| 摇摆误差Yaw(μrad) | ±75 | ±85 | ±100 | ±200 | ±300 |
| 电机类型 | 陶瓷电机 | ||||
| 速度(mm/s) | 5(MMC-110) | ||||
| PPS-110PM | ||
| 编码器类型 | (Open Loop) | Digital(RS-422) |
| 分辨率典型值(μm) | 0.001 | 0.002 |
| 重复精度（双向）(μm) | - | ±0.02 |
| 重复精度（单向）(μm) | - | 0.02 |
| 精度(μm) | - | ±1 |
| 材料 | aluminum body,steel bearing(other materials I.e. stainless steel, titanium, etc. available upon request) | |
尺寸图
