NPXY200-101
NPXY200-101 Nanopositioning Piezo Stage
NPXY200-101是一款标准二维纳米扫描台,扫描范围200μm×200μm,亚纳米分辨率。适用于光学测量、纳米加工、AFM、光存储/磁存储、材料科学等应用。
应用
- 光学测量
- 纳米加工
- AFM
- 光存储/磁存储
- 材料科学
主要参数
型号 | 3715101 |
尺寸(mm) | 100 x 100 x 23 |
最大负载(kg) | 1 |
最大推力(N) | 100 / 20 |
自重(g) | 460 |
运动轴 | X|Y |
闭环行程(µm) | 200|200 |
开环行程(µm) | 290|290 |
噪声值(nm) | 0.5|0.5 |
通孔(mm) | ∅40 |
3715101 | |
刚度(N/µ) | 0.5|0.5 |
共振频率(Hz) | 400|400 |
稳态时间(ms) | 15|15 |
线性度(%) | 0.01|0.01 |
电容量(µF) | 3.1|3.1 |
集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
电缆长度(m) | 2 |
控制器 | LC.402 |
材质 | 铝合金 |