NPX60-223
NPX60-223 Nanopositioning Piezo Stage
NPX60-223是一款闭环单轴纳米定位台,60μm行程。专门用于体积要求比较紧凑,高速,高刚度,精密定位及扫描应用。
应用
- 光纤对准
- 磁头和磁盘驱动器测试
- 纳米微操
- 精密测量
- 干涉测量
主要参数
型号 | 3715223 |
尺寸(mm) | 70 x 60 x 25 |
最大负载(kg) | 1 |
最大推力(N) | 100 / 20 |
自重(g) | 230 |
运动轴 | X |
闭环行程(µm) | 60 |
开环行程(µm) | 90 |
噪声值(nm) | 0.2 |
3715223 | |
刚度(N/µm) | 3.7 |
共振频率(Hz) | 1200 |
稳态时间(ms) | 4 |
线性度(%) | 0.01 |
电容量(µF) | 2 |
集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
电缆长度(m) | 2 |
控制器 | LC.400 |
材质 | 铝合金 |