陶瓷电机升降台ES-50PM
Piezo Motor
- 10mm行程
- 1nm闭环分辨率
- 负载达1kg
- 小体积，高度15mm
- 兼容真空版本
主要参数
| ES-50PM | |
| 行程(mm) | 10 |
| 直线度/平面度(μm) | ±4 |
| 摇摆误差Pitch(μrad) | ±300 |
| 摇摆误差Yaw(μrad) | ±300 |
| 自重（g） | 110 |
| 电机类型 | Piezo Motor |
| 速度(mm/s) | 5 |
| ES-50PM | |||
| 编码器类型 | None(open loop) | Analog (1 Vpp) | Digital(RS-422) |
| 分辨率典型值(nm) | 1 | 10 | 1 |
| 重复精度（双向）(nm) | N/A | ±50 | ±50 |
| 重复精度（单向）(nm) | N/A | 50 | 50 |
| 精度(μm) | ‐ | ±1 | ±1 |
| 材料 | aluminum body,steel bearing | ||
尺寸图
