ECSxy5050/NUM
纳米级精度陶瓷电机水平二维运动台
open loop & closed loop
主要参数
| 型号 | ECSxy5050/NUM |
| 尺寸 | |
| 长宽；高 | 50×50；16.4mm |
| 最大尺寸 | 62.5×62.5；16.4mm |
| 自重（铝/不锈钢） | 111g |
| 材料 | |
| 运动平台主体 | 铝/不锈钢 |
| 驱动源 | 压电陶瓷 |
| 轴承 | 不锈钢 |
| 连接线缆 | 导电双绞线，铜 |
| 选项 | |
| 安装方式 | 任意方向 |
| 可兼容环境 | /RT,/HV,/UHV |
| 兼容电子模块 | |
| 开环/闭环控制器 | ECC100 |
| ECSxy5050 | |
| 粗调位置模式 | |
| 行程（步长模式） | 25×25mm2 |
| 最小步长典型值 | 0.05μm |
| 最大驱动速度（@300K，无负载） | 4.5mm/s |
| 微调位置模式 | |
| 微调行程 | 0~1.6μm |
| 微调定位精度 | 亚纳米 |
| 运动精度（开环） | |
| 步长模式重复精度 | 典型值为全行程下5% |
| 双向步长不对称性 | 0.1 |
| 运动精度（闭环） | |
| 分辨率 | 1nm |
| 重复精度 | 50nm |
| 负载@常规环境（安装方向：水平轴向） | |
| 最大垂直负载 | 150N（15kg） |
| 轴向最大动态力 | 2N |
尺寸图
