D12/F2.8显微聚焦型探头
sensor head
尺寸图
主要参数
| 探测器头部 | |
| 光路类型 | 聚焦 |
| 尺寸 | Ø 12 mm,长度32.3 mm |
| 安装 | 夹持 |
| 焦距 | 2.8 mm |
| 接头 | FC/PC |
| 工作范围（测量目标：玻璃） | 2.8 mm ± 4 μm |
| 装调可容偏差（测量目标：玻璃） | ± 4 ° |
| 工作范围（测量目标：晶片） | 2.8 mm ± 14 μm |
| 装调可容偏差（测量目标：晶片） | ± 4 ° |
| 工作范围（测量目标：角锥镜） | 2.8 mm ± 20 μm |
| 装调可容偏差（测量目标：角锥镜） | ± 10° |
| 轴数 | 1 |
| 传感头型号 | D12/F2.8 |
| 工作环境 | /RT,/LT/HV,/UHV |
| 版本号 | |
| /RT version | 1011404 |
| /LT/HV version | 1011405 |
| /UHV version | 1011406 |
