音圈快反镜

音圈快反镜通过反射镜的两轴快速摆振实现光路调整，以补偿振动对光路的影响，或者控制光路产生期望的指向。音圈快反镜采用经过特殊设计的精密音圈电机作为驱动，输出力大、响应快、控制精度高；采用反射镜及支撑结构一体化设计技术，降低了质量/惯量、减小了体积，具有优异的动态特性；采用了转轴构型优化技术，使快反镜具有良好的控制精度和闭环带宽。

超高速音圈，采用磁浮驱动技术，音圈快反镜具有独一无二的隔振能力，环境振动向负载镜片的传递将被大幅衰减，这
使得音圈快反镜在高冲击环境应用中具有其他技术难以取代的优点。而在系统的工作频段，目标信号的快速运
动可以被完美地复现(扫描类应用)、跟随(跟踪类应用)或者抵消(稳像和减振类应用)。

音圈快反镜

RXY6-212超高速偏摆台

RXY6-212是一款超高速闭环偏摆台，摆角为6mradx6mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料，更高稳定性。主要用于光束调整，干涉测量，光学显微镜，光刻，图像分辨率的提高。

RXY3-410超高速偏摆台

RXY3-410是一款超高速闭环偏摆台，摆角为3mradx3mrad。50mm超大台面，摆台上方可安装更大尺寸反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料，更高稳定性。主要用于光束调整，干涉测量，光学显微镜，光刻，图像分辨率的提高。

RXY3-276超高速偏摆台

RXY3-276是一款超高速闭环偏摆台，摆角为3mradx3mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。通过调整角度，使得镜片的偏转角度变化，实现光束调节。主要用于光束调整，干涉测量，光学显微镜，光刻，图像分辨率的提高。

应用场景