SONOTA六轴并联定位台
Manual adjustment hexapod
- 设计负载范围从几克到几吨
- 行程±75mm
- 角度±2°
- 均衡机制
主要参数
SONORA | |
运动及定位 | |
行程Tx,Ty(mm) | ±75 |
行程Tz(mm) | ±50 |
行程Rx,Ry(deg) | ±6 |
行程Rz(deg) | ±6 |
分辨率Tx,Ty(μm) | 50 |
分辨率Tz(μm) | 50 |
分辨率Rx,Ry(μrad) | 90 |
分辨率Rz(μrad) | 90 |
机械特性 | |
负载(t)(垂直方向/水平方向) | 最高达17 |
其它特性 | |
可选项 | 兼容洁净间;特殊机械结构设计 |