ANPx311RES 纳米级精度陶瓷电机水平运动台 closed loop 激光位移传感器 平移台 三轴龙门 纳米定位台 六轴定位台 主页 6mm行程 2kg负载 4mK工作温度 ANPx311RES 主要参数 尺寸 面积及高度34x30; 10mm 最大尺寸34x36; 10mm 重量32g 定位精度 编码类型电阻式传感器 传感绝对精度大约 200 nm 重复性大约 1 .. 2 µm 控制器 闭环控制器ANC350/RES 其它详细信息见型号开环ANPx311 尺寸图 Related PostsFSM-752024年8月2日展会信息2024年2月4日exhibition2023年6月29日SOLANO2023年2月3日HEGOA Hexapod2022年12月27日FSM-20S2022年5月29日
