陶瓷电机平移台PP-12PM
Piezo Motor
陶瓷电机平移台PP-12PM
Piezo Motor
- 4mm行程
- 20nm闭环分辨率
- 负载达0.25kg
- 不锈钢滚珠导轨
- 提供真空兼容版本
- 体积紧凑,高度仅7mm
主要参数
PP-12PM | |
行程(mm) | 4 |
直线度/平面度(μm) | ±2 |
摇摆误差Pitch(μrad) | ±150 |
摇摆误差Yaw(μrad) | ±150 |
重量(g) | 13 |
电机类型 | 陶瓷电机 |
速度(mm/s) | 1(MMC-100),3(MMC-110) |
PP-12PM | ||
编码器类型 | (Open Loop) | Digital(RS-422) |
分辨率典型值(nm) | 1 | 20 |
重复精度(双向)(nm) | - | ±200 |
重复精度(单向)(nm) | - | 200 |
精度(μm) | - | ±10 |
材料 | aluminum body,steel bearing(other materials I.e. stainless steel, titanium, etc. available upon request) |