RXY6-212
RXY6-212 Nanopositioning Piezo Stage
RXY6-212是一款超高速闭环偏摆台，摆角为6mradx6mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料，更高稳定性。主要用于光束调整，干涉测量，光学显微镜，光刻，图像分辨率的提高。
应用
- 光束调整
- 干涉测量
- 光学显微镜
- 光刻
- 图像分辨率的提高
| 型号 | 3715212 | 3715212 | |
| 尺寸(mm) | 55 x 25 ∅ | 共振频率(Hz) | 2.0 kHz Unloaded, 1.5 kHz with 25mm Ø x 8mm Mirror |
| 最大负载(kg) | 3 inch Mirror | 稳态时间(ms) | 6 |
| 最大推力(N) | NA | 线性度(%) | 0.1 |
| 自重(g) | 120 | 电容量(µF) | 3.6 |
| 运动轴 | Tip-Tilt | 集成传感器 | Strain Gauge |
| 闭环行程(mrad) | 6 | 电缆长度（m) | 2 |
| 开环行程(mrad) | 7.5 | 控制器 | LC.402 |
| 噪声值(µrad) | 0.1 | 材质 | Invar 36 or Stainless Steel |
| 直径 | NA |
尺寸图
