二维平移台PPX-50
Stepper Motor
- 1nm分辨率
- 负载达0.5kg
- 兼容真空版本
主要参数
| PPX-50 | |||
| 行程 | 30mm*30mm | ||
| 直线度/平面度 | ±3.5μm | ||
| 摇摆误差Pitch | ±200μrad | ||
| 摇摆误差Yaw | ±100μrad | ||
| 自重 | 120g | ||
| 电机类型 | Piezo Motor | ||
| 速度（mm/s) | 2(MMC-100),10(MMC-110) | ||
| PPX-50 | ||
| 编码器类型 | None（open loop) | Analog(1Vpp) |
| 分辨率典型值 | 1nm | 10nm |
| 重复精度（双向） | n/a | ±50nm |
| 重复精度（单向） | n/a | 50nm |
| 精度 | - | ±1 |
| 材料 | aluminum body,steel bearing | |
尺寸图
