Hexapod六自由度定位台

Hexapod六自由度定位台采用六点支撑运动台面，同时Hexapod六自由度定位台的运动实现目标值。
Hexapod六自由度定位台最高重复精度达250nm。Hexapod六自由度定位台产品系列包含从70mm直径微型Hexapod六自由度定位台到1300mm以上大型Hexapod六自由度定位台。最大负载高达17t。同时Hexapod六自由度定位台支持极端环境应用，超大负载应用定制。

大理石多轴超稳定位系统

采用新式大理石平台结构，热膨胀小，温漂小，抗干扰能力强。
无需添加气浮设计，运动过程中摇摆误差仅20微弧度。
主要用于超精密加工及超精密测量。

激光位移传感器

IDS3010
支持三轴测量，测距达5m。体积紧凑，易于工业集成。测量精度达±1ppm。
采用法珀干涉原理。
可实现高速测角仪功能。
兼容 10MGy辐射环境。
目标值测量带宽达10MHz。可测位移速度达2m/s。

大角度高动态二维快反镜

二维快反镜主要有压电陶瓷二维快反镜及音圈二维快反镜两种。压电陶瓷二维快反镜采用压电陶瓷作为驱动源，实现二维摆动；该二维快反镜内置电容传感器分辨率达0.05μrad，工作频率达1kHz。音圈二维快反镜则是利用磁驱动原理，实现大角度摆动范围，二维快反镜角度可达3度，带宽达200Hz。

压电陶瓷纳米定位台

超薄三维平台设计，显微应用首选。单轴平移台最高自振频率达12500Hz。支持多种样品器皿，特殊内嵌式培养皿设计。

Hexapod六自由度运动模拟器

可实现高动态复杂运动。2t负载下，加速度高达0.7g。主要用于漂流模拟、惯性中心测试、发动机台架测试等。

大行程纳米定位台

平移纳米定位，XY二维平移纳米定位台，旋转台，角位台等运动机构，陶瓷电机，行程达50mm，分辨率达1nm。厚度仅20mm，支持多轴串联结构。

4mK低温定位台

低温定位台可用于强磁场，4mk超低温，5E-11mbar超高真空等极端环境。低温定位台最小仅15×15×10mm。低温定位台支持多轴宏微高精度定位。

步进电机平移台

该系列平台质量较轻便，结构设计紧凑，采用传统步进电机技术，提供数字光栅尺和模拟光栅尺两个版本。
推力大，精度高，寿命长，可组成多轴运动平台。