GS-HS-400
特征：
- 采用大理石基底结构
- 所有零部件根据系统特性做单独优化，实现超高系统精度
- XY轴采用直线电机驱动，Z轴采用伺服电机
- Z轴行程可选
- 横梁采用特殊高刚度设计
- 微增量测量系统
可选项：
- 绝对测量系统
- 采用铟钢或者微晶玻璃测量系统方式
- 采用空气轴承实现高精度需求
- 不锈钢框架可选\控制器可选
- X轴运动可集成至XY平台或者横梁上
- 可增加附加Z轴
主要参数
| 型号 | GS-HS-400 | |
| X-Axis | Y-Axis | |
| 行程(mm) | 200 | 400 |
| 最大速度(m/s) | 2.3 | 1 |
| 最大加速度(m/s2) | 20 | 20 |
| 最大负载(kg) | 2 | |
| 自重(kg) | 605 | |
| 电机参数 | ||
| 峰值推力(N) | 240 | 2x615 |
| 持续推力(N) | 70 | 2x120 |
| 峰值电流(A) | 8.7 | 2x14.2 |
| 持续电流(A) | 2.6 | 2x2.77 |
| 温度传感器 | Yes | |
| 霍尔传感器 | Available optionally | |
| 最大可允许温度(℃) | 110 | |
| 测量系统 | ||
| 范围(μm) | 20 | |
| 输出信号(Vpp) | 1 | |
| 精度 | ||
| 导向精度（水平、垂直μm） | 10 | 10 |
| 重复精度(μm) | 0.2 | 0.2 |
| 摆角误差（pich）(μrad) | 60 | 60 |
| 摆角误差（roll）(μrad) | 20 | 20 |
| 摆角误差（yaw） (μrad) | 40 | 40 |
尺寸图
