VFS4000是一套4自由度并行光学精密测量系统，通过一次性系统搭建，可以同时实现角秒精度的角度测量和微米精度的离轴跳动测量。
适用于三坐标测量机、机床测量和精密调整系统
特点：
🔹全新的4自由度并行测量原理
🔹二维角度测量精度 <1角秒
🔹二维位置测量精度 <1 微米
🔹理论上角度范围和工作距离无限制
🔹操控软件兼容WINDOWS和LINUX
🔹提供实时接口支持触发
🔹支持IP网络便于集成
🔹兼容工业4.0标准
应用：
🔹光学轴构建与调整
🔹光机模块调整
🔹镜片、分光器、棱镜、镜头调整
🔹显微镜和光学模块调整
🔹激光反射镜调整
🔹光机模块角度测量
🔹激光谐振腔调整
🔹激光系统调整
光学轴调整应用示意：
1.反射镜与分光器调整示意
2.三棱镜组调整示意
3.透镜平移测量与调整
公差彩色显示：
公差图形包括圆形、方块和长方形，并可用不同颜色代表不同的公差范围。
智能化测试流程软件控制：
流程软件通过RS232, USB3.0和TCP/IP与系统通信，可实现远程数据通信和系统操控。内置生产流程管理功能。
反射体选择：
多种规格可选
| 规格 | 35-4.8 | 46-4.8 | 90-6.8 | 140-8 | 200-10 | 300-15 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 测量轴: 角度 / 跳动 | 2 / 2 | 2 / 2 | 2 / 2 | 2 / 2 | 2 / 2 | 2 / 2 |
| 测量范围2w / ° ¹⁾ | 10.5° | 6.4° | 3.2 | 2.2 | 1.5 | 1.0 |
| 分辨率 / 角秒 ²⁾ | 0.3’’ | 0.2’’ | 0.1’’ | 0.1’’ | 0.05’’ | 0.05’’ |
| 重复性 R ²⁾ w / 角秒 | 0.4‘’ | 0.3‘’ | 0.15‘’ | 0.12‘’ | 0.1‘’ | 0.1‘’ |
| 垂向测量范围 2x ¹⁾ / mm | 20+100 /m | 20+70 /m | 20+60 /m | 20+40 /m | 20+30 /m | 20+20 /m |
| 垂向测量分辨率 ² ³⁾/ μm | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 垂向测量重复性 Rx ² ³⁾/ μm | 0.4+5/m | 0.4+2.5/m | 0.4+1.5/m | 0.4+1/m | 0.4+0.6/m | 0.2+0.2/m |
| 光圈口径 / mm | 7.3 | 9.6 | 13 | 20 | 20 | 20 |
| 最小反射镜尺寸 Φ / mm ³⁾ | 27.5 | 30 | 33 | 37 | 40 | 40 |
| 最小反射镜尺寸Φ / mm | 8 | 10 | 14 | 21 | 21 | 21 |
| 重量 / kg | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.8 | 0.9 | 1 |
| 外形尺寸 | Φ40 f8; 107 × 62 × 110 mm³ | Φ40 f8; 107 × 62 × 110 mm³ | Φ40 f8; 107 × 62 × 110 mm³ | Φ40 f8; 107 × 62 × 110 mm³ | Φ40 f8; 107 × 62 × 110 mm³ | Φ40 f8; 107 × 62 × 110 mm³ |
| 通讯接口 | USB3.0 / TCP-IP / JSON | USB3.0 / TCP-IP / JSON | USB3.0 / TCP-IP / JSON | USB3.0 / TCP-IP / JSON | USB3.0 / TCP-IP / JSON | USB3.0 / TCP-IP / JSON |
| 精度 , 线性度 / 角秒 ⁴⁾ | < 0.1%测量值 + 2R | < 0.1%测量值 + 2R | < 0.1%测量值 + 2R | < 0.1%测量值 + 2R | < 0.1%测量值 + 2R | < 0.1%测量值 + 2R |
- 为X方向数值；与工作距离有关（推荐工作距离大于3倍焦距）；Y方向数值为X方向的0.75倍
- 通过软件修正
- 工作距离为3倍焦距
- 误差修正