ANPz102
纳米级精度陶瓷电机水平运动台
open loop
主要参数
| 尺寸 | |
| 面积及高度 | 24*24；27mm |
| 最大安装空间 | 24*24；32mm |
| 重量 | 53g |
| 材料（无磁） | |
| 台体 | 钛 |
| 促动器 | 压电陶瓷 |
| 导向杆 | 陶瓷 |
| 线缆 | 绝缘双绞线，铜线 |
| 可选项 | |
| 兼容环境 | /RT, /HV, /UHV, /LT, /LT/HV, /LT/UHV |
| 材料 | /CuBe |
| 编码器 | /RES, /ULT |
| 控制器 | |
| 开环控制器 | ANC300: ANM150, ANM300 |
| 粗调模式 | |
| 行程（步进模式） | 5mm |
| 典型最小步长 | 50 nm @ 300 K, 10nm @ 4 K |
| 最大驱动速度（@300K，无负载） | 大约 3 mm/s |
| 微调模式 | |
| 微调范围 | 0 .. 5 μm @ 300 K, 0 .. 0.8 μm @ 4 K |
| 微调分辨率 | 亚纳米 |
| 运动绝对精度（开环） | |
| 步长重复性 | 典型值全行程5% |
| 前后步长对称性 | 典型值5-10% |
| 负载@常温环境（安装方向：垂直轴向） | |
| 最大垂向负载 | 2 N (200 g) |
| 最大轴向动态输出力 | 5 N |
尺寸图
