ANPz101NUM 纳米级精度陶瓷电机水平运动台 closed loop 激光位移传感器 平移台 三轴龙门 纳米定位台 六轴定位台 主页 5mm行程 200g负载 4mK工作温度 ANPz101NUM 主要参数 尺寸 面积及高度24*28；20mm 最大安装空间24*28；25mm 重量52.8g 定位精度 编码类型光电子传感器 传感绝对精度1 nm 重复性150 nm 控制器 闭环控制器ANC350/NUM 其它详细信息见模型开环ANPz101 尺寸图 Related PostsFSM-752024年8月2日展会信息2024年2月4日exhibition2023年6月29日SOLANO2023年2月3日HEGOA Hexapod2022年12月27日FSM-20S2022年5月29日
