ANPz101eXT12/NUM
纳米级精度陶瓷电机水平运动台
closed loop
主要参数
| 尺寸 | |
| 面积及高度 | 24*28；32mm |
| 最大尺寸 | 24*28；44mm |
| 重量 | 80g |
| 定位精度 | |
| 编码类型 | 光电子传感器 |
| 传感绝对精度 | 1 nm |
| 重复性 | 50 nm |
| 控制器 | |
| 闭环控制器 | ANC350/NUM |
其它详情查看型号开环ANPz101eXT12
尺寸图
动智精密
超精密定位与测量解决方案
closed loop
| 尺寸 | |
| 面积及高度 | 24*28；32mm |
| 最大尺寸 | 24*28；44mm |
| 重量 | 80g |
| 定位精度 | |
| 编码类型 | 光电子传感器 |
| 传感绝对精度 | 1 nm |
| 重复性 | 50 nm |
| 控制器 | |
| 闭环控制器 | ANC350/NUM |
其它详情查看型号开环ANPz101eXT12
